[G] 分析・解析・評価

9:30 〜 9:45

[192] 透過電子顕微鏡法によるタンタルナノワイヤ成長のその場観察

*佐久間 主騎¹、吉澤 広樹²、大橋 瑞貴²、木塚 徳志^3,4 (1. 筑波大理工（学生）、2. 筑波大院数理（院生）、3. 筑波大理工、4. 筑波大院数理)

キーワード：

その場観察、ナノ接点、透過電子顕微鏡、ナノワイヤ

TaナノチップとTa基板電極を透過型電子顕微鏡内で接触させ，直流電圧を印加しながら引っ張るとナノワイヤが成長した．成長時にナノワイヤにかかる荷重などが調べられた．