講演情報
[10a-N105-7]β-Ga2O3の液相エピタキシーにおける不純物の低減
〇田所 弘晃1、陳 智瑨1、大下倉 太朗1、宮本 美幸1、並木 康佑1、佐々木 誠1 (1.三菱ガス化学)
キーワード：
酸化ガリウム、エピタキシャル成長
β-Ga2O3のエピタキシャル層の形成において、著者らは液相エピタキシーを提案している。一方で、これまでLPE法で作製されたβ-Ga2O3エピタキシャル層には、育成に用いるるつぼや原料に由来する無視できない量の不純物が混入していることが報告されていた。そこで本研究では、るつぼに由来する不純物の低減を試みた。