[10a-N204-1~10] 9.3 ナノエレクトロニクス

10:00 〜 10:15

[10a-N204-5] 微細母構造を用いた蒸着時エレクトロマイグレーション法によるナノギャップ形成

〇船田 惇平¹、島 久²、秋永 広幸²、菅 洋志¹、内藤 泰久² (1.千葉工大、2.産総研)

キーワード：

ナノギャップ電極