[10a-N221-1~10] 3.10 フォトニック構造・現象

11:30 〜 11:45

[10a-N221-8] 量産ウェハプロセスラインによるパルス駆動・20 W級InP系フォトニック結晶面発光レーザー

〇岸本 一誠¹、津波 大介¹、中井 栄治¹、原 翔洋¹、上野 貴寛¹、松岡 拓史¹、奥畑 亮¹、中川 康幸¹、宮崎 泰典¹ (1.三菱電機株式会社)

キーワード：

フォトニック結晶、半導体レーザー

高出力、高ビーム品質を両立する半導体レーザー光源としてフォトニック結晶面発光レーザー（PCSEL）が注目されている。今回、光センシング用光源としての社会実装を想定し、量産ウェハプロセスラインによる1.5μm帯InP系PCSELの試作を行った。その結果、パルス駆動にてピーク光出力21W、単峰かつ狭ビーム（約0.4°）、単一波長でのレーザー発振、200時間通電での光出力安定性を確認した。