講演情報
[10a-N301-10]Sn/In金属を用いたマイクロLEDの反転転写プロセス
〇松井 壱渡1、神田 稜太1、西川 敦2、Loseing Alexander2、関口 寛人3,1 (1.豊橋技大、2.ALLOS、3.名城大)
キーワード：
マイクロLED、転写技術、金属はんだ
脳の神経細胞への光刺激と電位計測を同一方向から行うため、マイクロLEDを反転してパリレンフィルム上の金属配線に直接接合する、新たな転写手法を開発した。LED電極の高さ調整にはステップレス構造を採用し、Sn/In金属はんだを用いることで接合性を確保した。反転LEDと金属配線の接合に成功し、発行も確認できた。