講演情報
[10a-N301-6]Ag被膜InGaN/GaN量子井戸のUV照射と熱処理による高効率緑色発光
〇(M1)上田 直毅1、伊藤 駿1、松山 哲也1、村井 俊介1、和田 健司2、船戸 充3、川上 養一3、岡本 晃一1 (1.阪公大院工、2.阪公大研究推進、3.京大院工)
キーワード：
発光ダイオード、プラズモン、窒化物
InGaN/GaN量子井戸構造にAg薄膜を成膜し、熱処理を施した後背面から可視レーザーで照射したところ、緑色発光の大幅な増強が得られた。特に100℃での処理において最大5.3倍の増強が観測された。SPRによる光局在に加え、Agの拡散による欠陥準位の低減が寄与したと考えられる。