[10a-N302-1~11] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

9:00 〜 9:15

[10a-N302-1] ソース分割型シリコン並列単電子ポンプによるナノアンペア動作

〇山端 元音¹、清水 貴勢¹、西口 克彦¹、藤原 聡¹ (1.NTT物性研)

キーワード：

シリコン、単電子、量子ドット

量子電流標準応用のための超高精度動作実証のため、単電子ポンプの電流増大(pA→nA)が求められる。今回、ソース電極を分割した並列単電子ポンプを報告する。ばらつきのある単電子ポンプの動作条件をソース電圧により最適化することで、4並列ポンプまでのスケーラブル動作や、ナノアンペア領域の電流特性を達成した。更なる集積化・大電流化も期待できる重要な技術である。