[10a-N323-1~11] 8.1 プラズマ生成・診断

9:00 〜 9:15

[10a-N323-1] 矩形振幅変調放電プラズマが電子加熱に与える影響：シミュレーションと実験

〇鎌滝 晋礼¹、佐藤 優志¹、黒崎 陽晴¹、政本 元¹、山下 大輔¹、奥村 賢直¹、板垣 奈穂¹、古閑 一憲¹、白谷 正治¹ (1.九大シス情)

キーワード：

プラズマプロセス、任意電圧波形放電

AIやIoTの進展に伴い、半導体デバイスの高機能化と複雑な三次元構造の形成が求められており、これに対応するためにはプラズマプロセス中の電子密度や電子温度といったパラメータの高精度制御が不可欠である。特に電子温度制御は重要な課題であり、それを実現できる放電手法は制限されている。そこで、本研究では、放電電圧の振幅を矩形波状に変調する放電を導入し、これによる電子加熱特性をシミュレーションと実験にて評価した。