[10a-N323-1~11] 8.1 プラズマ生成・診断

9:15 〜 9:30奨励賞エントリー

[10a-N323-2] 補助電極による均一なプラズマの生成

〇鈴木 雄大¹、アブラハ ペトロス¹ (1.名城大理工)

キーワード：

プラズマ、均一性

プラズマ表面処理では、プラズマの密度が表面硬度や表面粗さなどの処理結果に大きく影響を与えるため、処理領域内でプラズマ密度が均一なプラズマの生成が求められている。本研究では、正の電圧を印加した補助電極を用いて、生成後のプラズマを均一化することにより、従来よりも比較的簡便に均一なプラズマを生成する方法を試みた。