[10a-N323-1~11] 8.1 プラズマ生成・診断

10:45 〜 11:00奨励賞エントリー

[10a-N323-7] プラズマ援用有機金属化学気相成長装置で生成した窒素プラズマのN₂ second positive systemによる回転温度・振動温度診断

〇山下 雄也¹、高橋 言緒¹、清水 鉄司¹、山田 永¹ (1.産総研)

キーワード：

発光分光計測、有機金属化学気相成長法、窒化物

プラズマ援用有機金属化学気相成長法を用いた窒化物半導体結晶成膜において，プラズマの反応過程解明が要請されている．本研究は，窒化物半導体用準大気圧プラズマ援用有機金属化学気相成長装置の特性解明を目的とする．発光分光計測により，窒素プラズマのN₂ second positive systemによる回転温度・振動温度を診断した．プラズマ源から距離が離れるほど回転温度および振動温度が低下した．