[10a-N402-1~11] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶・エピタキシーの基礎

9:30 〜 9:45

[10a-N402-3] MOVPE選択成長法によるWZ-AlInPフィン成長と評価

〇東 佑樹¹、鄭 子ヨウ¹、谷山 慶太¹、内田 凌聖¹、本久 順一¹、冨岡 克広¹ (1.量子集積センター)

キーワード：

MOVPE、選択成長、フィン成長