[10a-N403-1~10] 7.1 X線技術

9:30 〜 9:45

[10a-N403-2] 軟X線多層膜を付加し1～2keV領域で高回折効率を呈する平面結像型不等間隔溝球面ラミナー型回折格子の開発

〇小池 雅人^1,2,3、羽多野 忠²、ピロジコフ アレキサンダー¹、寺内 正己² (1.量研関西研、2.東北大多元研、3.大阪公大工)

キーワード：

回折格子、軟X線、多層膜

1～2keV領域で高回折効率を呈する軟X線多層膜を付加した平面結像型不等間隔溝球面ラミナー型回折格子を前回報告[1]した設計に従い製作し，回折効率を評価したので報告する。
[1]小池他，第69回応用物理学会春季学術講演会，24a-E101-1 (2022).