講演情報

10:00 〜 10:15

[10a-N403-4]EUV露光光源用スズプラズマの空間・時間分解発光スペクトル計測

〇(M2)篠田樹¹、富田健太郎¹ (1.北大工)

EUV、リソグラフィー、プラズマ

最先端の半導体EUV露光光源として使われるスズプラズマについて、時間的・空間的に分解した発光スペクトル計測と、独自技術による電子温度・密度計測を複合した結果から、未知のプラズマ内部詳細と、その発光の様相の関係について考察する。