講演情報
[10a-N403-6]透過型EUV顕微鏡を用いた銀ナノ粒子の観察と透過シミュレーション
〇(P)宇治 駿1、S. Maidul Haque1、豊田 光紀1 (1.東京工芸大工)
キーワード：
極紫外線、EUV顕微鏡、ナノ粒子
EUV顕微鏡は、数10nmの高い空間分解能に加え、内殻吸収端の波長を選ぶことで、大きな吸収断面積と高いコントラストを実現する次世代型光学顕微鏡として期待されている。本研究では、さまざまな形状が報告されている銀ナノ粒子に着目し、EUV観察特性を明らかとするため、透過シミュレーションや従来のナノスケール観察法と比較・考察を実施した。EUV観察像の透過率の計算結果についてフィッティングを実行することで、焦点深度1/10程度の試料厚さを非常に簡便に算出可能であるという結果を得た。