講演情報
[10a-P01-29]通信波長帯メタレンズの作製誤差を考慮したFDTD法によるロバスト設計最適化
〇(D)岡本 将樹1、長谷部 翔大1、山田 泰文1、杉浦 健2、草島 子栄2、朝日 透1、中川 鉄馬1 (1.早大、2.(株) オプトラン)
キーワード:
メタサーフェス、メタレンズ、有限差分時間領域
近年のデータ通信量の増加に伴うIT機器の消費電力問題に対し、本研究では通信波長帯で動作するメタレンズに着目し、FDTD法により作製誤差(寸法ばらつきや膜厚変動等)が性能に与える影響を評価した。実構造のSEM画像から寸法を抽出し、シミュレーション結果と比較。ロバスト設計により性能劣化を抑制できることを確認し、マクロ光学素子の代替としての有効性を示した。詳細は当日発表する。