講演情報

[10a-P04-11]多元系III族窒化物による分極整合エピタキシャル構造を用いた
共鳴トンネルダイオードの検討(2)

〇(M1)今泉 輝1、間瀬 晃1、江川 孝志1、三好 実人1 (1.名工大)

キーワード:

共鳴トンネルダイオード、GaN

窒化物系材料の分極が共鳴トンネルダイオードの特性に影響を及ぼす事も示唆されている。我々は、このようなGaN系RTDの課題に鑑み、四元AlGaInN量子井戸とAlInN障壁層を備えた分極整合構造の二重障壁RTDを考案した。本研究では、前回に引き続き、AlGaInN/AlInN分極整合RTD(PM-RTD)についてより詳細なデバイスシミュレーションを実施したので報告する。