[10a-P04-1~22] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

[10a-P04-13] 電気化学インピーダンス分光法による n-GaN プロセス面の評価

〇嶋崎 喬大¹、髙橋 円空¹、赤澤 怜明¹、佐藤 威友¹ (1.北大量集センター)

キーワード：

窒化物半導体、電気化学的評価、電気化学エッチング