[10a-P04-1~22] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

[10a-P04-18] 電気化学測定法によるud-AlGaN/n-GaN構造の電気的評価

〇高橋 円空¹、嶋﨑 喬大¹、赤澤 怜明¹、熊倉 一英¹、谷保 芳孝²、佐藤 威友¹ (1.北大量集センター、2.NTT物性科学基礎研究所)

キーワード：

窒化物半導体、電気化学的評価