[10a-P04-1~22] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

[10a-P04-7] 空気をラジカル源としたSiCの近接場光エッチングの原理実証

〇吉松 澪央¹、吉田 恭平²、永岡 昭二^2,3、高藤 誠¹ (1.熊本大院先端、2.熊本県産技セ、3.熊本大学 熊本創生推進機構)

キーワード：

近接場光、炭化ケイ素、コヒーレントフォノン