[10p-N105-1~13] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

15:45 〜 16:00

[10p-N105-11] 位相差顕微鏡によるβ-Ga₂O₃(010)結晶中転位の非破壊検出

〇石川 由加里¹、勝部 大樹¹、佐藤 功二¹、姚 永昭^1,2、佐々木 公平³ (1.JFCC、2.三重大、3.NCT)

キーワード：

位相差顕微鏡、β-Ga2O3、転位

β-Ga₂O₃(010)結晶中の転位が位相差顕微鏡で検出可能なことを放射光反射Ｘ線トポグラフィの輝点との一対一対応で証明した。また、フォーカス深さを変えて観察することにより転位の３次元分布が取得可能なこともわかった。