講演情報
[10p-N105-12]β-Ga2O3に導入された転位の構造解析へのLACBED法適用性検証
〇菅原 義弘1、姚 永昭2,1、佐々木 公平3、石川 由加里1 (1.JFCC、2.三重大、3.NCT)
キーワード：
酸化ガリウム、バーガースベクトル、LACBED
直交座標では取り扱えない単斜晶の酸化ガリウム(β-Ga2O3))において、結晶内に形成された転位の構造をウィークビーム暗視野法で明らかにすることは難しい。一方、大角度収束電子線回折(LACBED)法は、転位のバーガースベクトル(方向と大きさ)を一意に決定できる有用な手法である。本研究では、β-Ga2O3内に形成された転位のバーガースベクトルを決定するために、LACBED法の適用性の検証を行った。