2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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13:15 〜 13:30
[10p-N105-2]
O
2
供給下における(001) β-Ga
2
O
3
のHClガスエッチング
〇大島 祐一
1
、大島 孝仁
1
(1.NIMS)
キーワード：
Ga2O3、エッチング
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