2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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13:30 〜 13:45
[10p-N105-3]
(001)面β-Ga
2
O
3
基板上のβ-Ga
2
O
3
/エアギャップ構造作製
〇大島 孝仁
1
、大島 祐一
1
(1.NIMS)
キーワード：
酸化ガリウム、エッチング、MEMS
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