2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
過去のプログラム
English
ご利用ガイド
メインメニュー
開催情報
お知らせ(0)
大会HP
プログラム
セッション一覧
講演検索
タイムテーブル
2025年9月7日 (日)
2025年9月8日 (月)
2025年9月9日 (火)
2025年9月10日 (水)
詳細検索
トップ
セッション一覧
セッション詳細
講演情報
講演情報
16:00 〜 16:15
[10p-N302-10]
微細配線応用を目指したCoSnカゴメ金属薄膜の作製
〇中谷 友也
1
、Suwannaharn Nattamon
1
、佐々木 泰佑
1
(1.NIMS)
キーワード:
配線、カゴメ金属
配線材料応用を目的に、異方性導電材料CoSnカゴメ金属の単結晶薄膜を作製し、結晶方位による抵抗率の異方性を評価した。c軸方向で13 µΩcm、a軸方向で118 µΩcmと、バルク同様の顕著な異方性を示した。
セッション詳細へ戻る