セッション詳細
[10p-N302-1~11]13.5 デバイス/配線/集積化技術
2025年9月10日(水) 13:30 〜 16:30
N302 (共通講義棟北)
[10p-N302-1]ロジックトランジスタを用いた混載フラッシュメモリの最適化設計
〇平野 博茂1、野間 淳史1、栗山 寛明1 (1.タワーパートナーズセミコンダクター)
[10p-N302-2]エネルギー最小点動作・非対称型SRAMセルの設計
〇藤下 涼1、塩津 勇作1、菅原 聡1 (1.東京科学大学・未来研)
[10p-N302-3]エネルギー最小点動作PIMに応用可能な高ノイズ耐性SRAMセル
伊藤 克俊1、〇藤原 拓真1、塩津 勇作1、菅原 聡1 (1.東京科学大学・未来研)
[10p-N302-4]XNOR-SRAMセルを用いた並列演算PIM型BNNアクセラレータ・マクロ
〇近藤 慶音1、塩津 勇作1、菅原 聡1 (1.東京科学大学・未来研)
[10p-N302-5]EMP近傍動作・シングルエンドSRAMセルの設計と性能
〇矢口 忠勝1、塩津 勇作1、菅原 聡1 (1.東京科学大学・未来研)
[10p-N302-6]耐放射線SRAMセルの設計方法
〇野見山 敏輝1、塩津 勇作1、菅原 聡1 (1.東京科学大学・未来研)
[10p-N302-7]ナノインプリントリソグラフィによるHP19nm L/Sパターンのハードマスクエッチングの評価
〇鈴木 健太1、上田 哲也1、笠嶋 悠司1、濱本 亮輔1、深沢 正永1、水林 亘1、林 喜宏1、石田 真幸2、舩吉 智美2、日浦 広実2、香川 正行2、長谷川 敬恭2、山本 磨人2 (1.産総研 SFRC、2.Canon)
[10p-N302-8]ナノインプリントリソグラフィによるデュアルダマシン(DD)配線のパターニング形状評価
〇濱本 亮輔1、鈴木 健太1、上田 哲也1、林 喜宏1、水林 亘1、石田 真幸2、日浦 広美2、香川 正行2、日下 敦之2、小楠 誠2、山本 磨人2 (1.産総研 SFRC、2.キヤノン)
[10p-N302-9]酸化によるCuAl2薄膜の抵抗増大に関する原子論的解析
〇田中 貴久1 (1.慶大理工)
[10p-N302-10]微細配線応用を目指したCoSnカゴメ金属薄膜の作製
〇中谷 友也1、Suwannaharn Nattamon1、佐々木 泰佑1 (1.NIMS)
[10p-N302-11]NiAlのエレクトロマイグレーション特性
〇米原 周平1、小池 淳一1 (1.東北大)