講演情報

16:15 〜 16:30奨励賞エントリー

[10p-N302-11]NiAlのエレクトロマイグレーション特性

〇米原周平¹、小池淳一¹ (1.東北大)

エレクトロマイグレーション、信頼性、配線

ULSIの微細化に伴う電流密度の増加により、Cu配線のエレクトロマイグレーション(EM)が問題となっている。そこで、Cu代替材料として金属間化合物が注目されており、本研究では、特に電気抵抗率が低く、原子間の結合力が強いNiAlにおいてEM試験を行い、その挙動と特性について報告する。