2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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15:45 〜 16:00
[10p-N302-9]
酸化によるCuAl
2
薄膜の抵抗増大に関する原子論的解析
〇田中 貴久
1
(1.慶大理工)
キーワード：
配線、酸化、抵抗率
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