講演情報
[10p-N305-8]パリレン被覆によるLAPSのイオン検出性能向上
〇松本 晏奈1、逸見 悠大2、松井 弘之2、宮本 浩一郎3、吉信 達夫3、Carl Frederik Werner1 (1.京工繊大電、2.山形大ROEL、3.東北大工)
キーワード：
化学センサ、イオンセンサ、LAPS
光アドレス型電位センサー（LAPS）の絶縁膜はSi₃N₄が一般的だが、高温成膜やイオン選択膜（ISM）との適合性に課題があった。本研究では低温成膜可能で化学的に安定なパリレンをLAPS絶縁膜に適用した。その結果、パリレンの使用によりカリウム感度が大幅に向上した。これは、パリレンの高いISM接着性やpH交差感度抑制効果によるものと考えられ、LAPSの高性能化と新たな応用展開に貢献する可能性を示唆する。