[10p-N322-1~13] 15.6 IV族系化合物（SiC）

15:15 〜 15:30

[10p-N322-7] ビニルシランを用いた熱CVD法によるFe基板上へのSiCコーティングにおけるアンモニア処理の影響

〇(M2)大島 直人¹、土射津 佑起²、金子 智³、上原 賢一⁴、安原 重雄⁴、田岡 紀之¹、五島 敬史郎¹、竹内 和歌奈¹ (1.愛知工業大、2.東北大、3.KISTEC、4.JAC)

キーワード：

炭化ケイ素、ビニルシラン、熱化学気相成長法