[10p-N322-1~13] 15.6 IV族系化合物（SiC）

15:30 〜 15:45

[10p-N322-8] ビニルシランとトリメチルアルミニウムにより成長させたアモルファスAlSiC薄膜の電気的特性へのAl導入効果

〇(D)土射津 佑起¹、上原 賢一²、大堀 大介¹、安原 重雄²、遠藤 和彦¹、竹内 和歌奈³ (1.東北大流体研、2.(株)ジャパン・アドバンスト・ケミカルズ、3.愛知工業大学)

キーワード：

SiC、ビニルシラン、半導体