[10p-N324-1~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

13:30 〜 13:45

[10p-N324-1] 酸素プラズマとギ酸蒸気処理によるPt膜の異方性サイクルエッチング

〇三輪 和弘¹、グエン ﾃｨ ﾄｩｲ ｶﾞｰ¹、赤木 大二郎²、堀 勝¹、石川 健治¹ (1.名大低温プラズマ研、2.AGC（株）)

キーワード：

異方性サイクルエッチング、貴金属、白金