講演情報
[10p-N324-10]エッチングガス解離過程の光電子－光イオンコインシデンスによる分析
トラン トラン グエン1、岩山 洋士2、林 俊雄1、井上 健一1、堤 隆嘉1、〇石川 健治1 (1.名大、2.分子研)
キーワード：
プラズマエッチング、光電子－光イオンコインシデンス、ハイドロフルオロカーボン
シリコン絶縁膜のエッチングガスであるC₃HF₅の解離光イオン化を光電子－光イオンコインシデンス測定により調べ，生成されるCxHyFzがSiNに，CxFyがSiO2のエッチングにおいて効率的に働き揮発させる機構を紹介する．