2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
過去のプログラム
English
ご利用ガイド
メインメニュー
開催情報
お知らせ(0)
大会HP
プログラム
セッション一覧
講演検索
タイムテーブル
2025年9月7日 (日)
2025年9月8日 (月)
2025年9月9日 (火)
2025年9月10日 (水)
詳細検索
トップ
セッション一覧
セッション詳細
講演情報
講演情報
14:00 〜 14:15
奨励賞エントリー
[10p-N324-3]
CH
4
プラズマにおけるGaNのエッチング特性
〇(M1)工藤 柊音
1
、高橋 和生
1
(1.京工繊大)
キーワード:
窒化ガリウム、エッチング
本研究では、塩素系ガスを用いずにGaNをドライエッチングする新手法として、ArとCH
4、
O
2
の混合ガスを用いたICPエッチングを提案した。エッチング特性のガス流量比依存性を調査し、得られた結果からエッチング反応の支配因子についても考察する。
セッション詳細へ戻る