[10p-N402-1~11] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶・エピタキシーの基礎

16:00 〜 16:15

[10p-N402-10] (100)InP有機金属気相エピタキシーにおけるオフ方向依存Zn基板側拡散の理論的説明

〇望月 和浩¹、太田 博¹、三島 友義¹、堀切 文正¹、西村 智朗¹ (1.法政大)

キーワード：

拡散、インジウムリン、亜鉛