[10p-N403-1~11] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

16:00 〜 16:15

[10p-N403-10] 溶解性UV硬化樹脂を用いたナノ形状金箔作製

〇小川 泰知¹、大幸 武司²、大門 幸生²、谷口 淳¹ (1.東理大先進工、2.東洋合成工業)

キーワード：

レジスト、光ナノインプリント、モールド

UVナノインプリントリソグラフィ(UV-Nanoimprint Lithography: UV-NIL)は，高解像度かつ高精度なパターン形成を実現するナノインプリントリソグラフィ(NIL)の手法であり，半導体製造や光学系デバイスの分野において重要な役割を果たしている。本研究では，溶解性UV硬化樹脂を用いて，UV-NILでナノスケールパターンを金箔に転写した。