講演情報
[10p-N403-11]遮光膜付きNILモールドを用いた銀インク転写プロセスの改善
〇芦田 拓望1、谷口 淳1 (1.東理大先進工)
キーワード：
ナノインプリント、微細構造形成
モールドの凸部に遮光膜を付着させたインプリントモールドを用いて, フォトリソグラフィ用銀インクのインプリント転写を行った. 複数ある遮光膜をモールドに付着させる方法のうち, 真空引きを用いない方法で遮光膜付きモールドを作製した. 使用した銀インクは, 基板との密着性が課題であったが, シランカップリング処理などを加えたプロセスで改善を行い, 配線パターンを形成した.