講演情報
[10p-N403-2]EB / EUVリソグラフィ用有機無機ハイブリッドレジストのリソグラフィ特性
への有機配位子と金属コア構造の効果
〇山本 洋揮1、室屋 裕佐2、岡本 一将2、下田 周平3、古澤 孝弘2 (1.量研高崎、2.阪大産研、3.北大)
キーワード：
レジスト材料、EUVリソグラフィ、有機無機ハイブリッドレジスト
現在、極端紫外線（EUV） リソグラフィが実用化されたが、10 nm未満のパターンを加工できるレジスト材料はない。現在、金属コアと有機配位子から成るメタルレジストなどといった革新的な材料の研究・開発が進められている。以前の研究で、金属コアがレジスト性能に影響を与えることが明らかになった。本研究では、金属コアと有機配位子のレジスト性能への影響を調べるため、新たな有機無機ハイブリッドレジストを合成し、リソグラフィの性能評価を行った。