[10p-N403-1~11] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

14:00 〜 14:15奨励賞エントリー

[10p-N403-3] ニュースバル放射光施設でのOoB反射率計の開発

〇貫里 拓未¹、早勢 直紀¹、山川 進二¹、原田 哲男¹ (1.兵県大)

キーワード：

アウトオブバンド、EUVリソグラフィー