講演情報

[10p-N403-8]UVナノインプリント成型の分子動力学シミュレーションの開発

〇若松 大翔1、平井 義彦1、安田 雅昭1 (1.阪公大院工)

キーワード:

UVナノインプリント、光硬化性樹脂、分子動力学

UVナノインプリントにおいて成型サイズがナノスケールになると成型不良などの課題解決のためのシミュレーション解析では分子動力学法が有効な手法となるが、UVナノインプリントではUV硬化反応の再現の困難さのため熱ナノインプリントに比べて分子動力学解析がほとんど報告されていない。本研究ではUVナノインプリントを対象に樹脂の充填、硬化、離型のすべての過程を再現する分子動力学シミュレーションを開発した。