講演情報
[10p-N403-9]溶解性UV硬化樹脂を用いた金属リフトオフによるナノパターン作製
〇(M1)藤枝 聖1、大幸 武司2、大門 幸生2、谷口 淳1 (1.東理大先進工、2.東洋合成工業)
キーワード：
レジスト、光ナノインプリント、電子・イオンビームリソ
エッチングを伴わず選択的な金属除去が可能なリフトオフプロセスで金属パターンを作製した。また，作製するにあたってUV照射によって硬化する樹脂を使用し，有機溶剤によって容易に除去可能な溶解型UV硬化樹脂PAK-YY01(東洋合成社製)を用いて，微細な金属パターンの作製した。