講演情報
[10p-S201-7]試料冷却下でのGCIB-TOF-SIMSによるペロブスカイト膜の深さ方向分析
〇浅原 千鶴1、五十嵐 陽彦1、坂田 智裕1、二村 寛子1、稲元 伸1、中村 智也2、チョン ミンアン2、大橋 昇2、若宮 淳志2 (1.東レリサーチセンター、2.京大化研)
キーワード:
ペロブスカイト型太陽電池、TOF-SIMS、分析
本研究では、ガスクラスターイオンビーム(GCIB)を用いた飛行時間型二次イオン質量分析法(TOF-SIMS)を試料冷却下で実施し、ペロブスカイト膜の深さ方向分析を行った。イオンビーム照射によるペロブスカイト膜へのダメージが課題であったが、試料冷却により分析ダメージが抑制でき、精密な深さ方向分析が可能となった。