[7a-N201-1~10] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

11:00 〜 11:15

[7a-N201-7] 様々なAl組成を持つSiドープα-(AlGa)₂O₃薄膜のバンドギャップ測定

〇奥山 優太¹、奥村 宏典¹ (1.筑大数理)

キーワード：

ワイドバンドギャップ半導体、X線光電子分光法、酸化アルミニウムガリウム