講演情報

11:15 〜 11:30

[7a-N201-8]Mist CVD法による1000°C以上での(010) b-Ga₂O₃の成長検討

〇(M1)齊藤星¹、杉谷諒¹、山口智広¹、阿部翔平¹、佐々木公平²、倉又朗人²、本田徹¹、尾沼猛儀¹ (1.工学院大学、2.(株)ノベルクリスタルテクノロジー)

酸化ガリウム、結晶成長、Mist CVD法