[7a-N221-1~10] 3.6 レーザープロセシング

9:15 〜 9:30

[7a-N221-2] パルスレーザーアブレーション法でパイプとガスの流れを用いて堆積させたSi球状ナノ粒子のパイプ径依存性

〇花田 裕月¹、青木 珠緒¹、梅津 郁朗¹ (1.甲南大)

キーワード：

パルスレーザーアブレーション法、球状ナノ粒子、慣性効果

ガス中のPLA法で、パイプとガスの流れを利用すると、球状ナノ粒子をガスの流速で制御性よく堆積できる。基板上の堆積面積を変化させるためにパイプ径を変化させたところ、堆積面積はパイプ径とともに増加した。パイプ径がφ3.5以下の時は、平均粒径は慣性効果に基づいた計算値に良く合うがφ5.0としたときには計算値よりも小さくなった。これはガスの基板直前での曲率半径の影響であると考えられる。