[7a-N301-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

9:00 〜 9:15

[7a-N301-1] RF-MBE法を用いた低温AlN成長におけるAlリッチ成長条件下での
Al/AlN積層構造形成

〇田中 練¹、川端 重温¹、中本 トラン²、藤井 高志³、荒木 努¹ (1.立命館大理工、2.R-GIRO、3.立命館大総研)

キーワード：

RF-MBE、AlN、結晶成長