[7a-N301-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

11:30 〜 11:45

[7a-N301-10] スパッタ成長高Al組成Si-doped AlGaNへのin-situオーミック電極の形成

〇(DC)内藤 愛子¹、上野 耕平¹、藤岡 洋¹ (1.東大生研)

キーワード：

オーミックコンタクト、窒化アルミニウムガリウム、in-situ