講演情報

[7a-N301-11]超高耐圧AlN/Al0.9Ga0.1N/AlNマルチチャネルトランジスタの作製

〇小坂 鷹生1、上野 耕平1、藤岡 洋1 (1.東大生研)

キーワード:

窒化アルミニウム、トランジスタ、HEMT