[7a-N301-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

9:15 〜 9:30

[7a-N301-2] 透過電子顕微鏡を用いたRF-MBE低温成長AlNの極微構造評価

〇川端 重温¹、田中 練¹、中本 トラン²、藤井 高志³、荒木 努¹ (1.立命館大理工、2.R-GIRO、3.立命館大総研)

キーワード：

RF-MBE、結晶成長、透過電子顕微鏡