[7a-N301-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

9:30 〜 9:45

[7a-N301-3] スパッタ・アニール法による半極性(11-22)AlNの結晶性向上

〇小林 大樹¹、赤池 良太^1,2、大矢 健世¹、安永 弘樹^2,3、中村 孝夫^1,2、三宅 秀人^1,2 (1.三重大院工、2.三重大半デセンター、3.三重大研基機構)

キーワード：

AlN、半極性(11-22)、スパッタ・アニール