[7a-N301-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

9:45 〜 10:00

[7a-N301-4] スパッタAlN上へのMOVPE法によるAlNの高温成長

〇(M2)松原 優翔¹、藤井 滉樹¹、髙柳 祐介¹、林 悠希矢¹、清水 蒼輝¹、高島 祐介^1,2、直井 美貴^1,2、前岡 淳史³、大澤 篤史³、高辻 茂³、木村 貴弘³、永松 謙太郎^1,2 (1.徳島大理工、2.徳島大ポストLEDフォトニクス研究所、3.(株)SCREENホールディングス)

キーワード：

AlN、MOVPE